1.接觸式（機(jī)械探針法）

 

這是最基礎(chǔ)的原理。儀器的高精度探針緩慢接觸樣品表面，從基底移動到膜層上方，通過探針感知的高度差，直接測量膜層的實際厚度。優(yōu)點是精度高，適合厚膜（如金屬膜、涂層），但可能會輕微損傷樣品表面。

 

2.光學(xué)式（反射/折射法）

 

利用光的反射或干涉特性工作，也是桌面式非常常用的類型。光線照射到膜層表面后，會同時發(fā)生膜層上表面反射和膜層與基底界面反射，兩束反射光產(chǎn)生干涉條紋。儀器通過分析干涉條紋的間距、強(qiáng)度等參數(shù)，結(jié)合膜層的光學(xué)折射率，自動計算出膜厚。適合薄膜（如光學(xué)膜、半導(dǎo)體薄膜），非接觸式不會損傷樣品。

 

3.渦流感應(yīng)法

 

主要針對導(dǎo)電膜層（如金屬膜）。儀器的探頭產(chǎn)生交變磁場，當(dāng)磁場靠近導(dǎo)電膜層時，會在膜層內(nèi)產(chǎn)生渦流，渦流又會反過來影響探頭的磁場強(qiáng)度。膜厚不同，渦流強(qiáng)度也不同，儀器通過檢測磁場變化量，自動換算出膜層厚度。適合金屬膜、導(dǎo)電涂層的快速檢測，非接觸且效率高。