手持式曲面涂層薄膜測(cè)厚儀能夠在幾秒鐘內(nèi)快速分析薄膜的反射光譜數(shù)據(jù),并分析單層和多層薄膜的厚度。
1.核心價(jià)值在于突破傳統(tǒng)設(shè)備對(duì)平面樣品的依賴,其手持式探頭設(shè)計(jì)可直接貼合眼鏡、車燈罩等不規(guī)則曲面,無(wú)需復(fù)雜取樣或制樣。例如,在AR眼鏡產(chǎn)線中,該設(shè)備可快速測(cè)量鏡片上減反射膜的納米級(jí)厚度,避免因曲面變形導(dǎo)致的測(cè)量誤差。
2.設(shè)備支持單層及多層薄膜同步解析,內(nèi)置算法可同時(shí)分析3層以上膜系結(jié)構(gòu)。
二、手持式曲面涂層薄膜測(cè)厚儀技術(shù)原理:白光干涉與光譜反射的融合創(chuàng)新
采用白光干涉與光譜反射復(fù)合技術(shù),其測(cè)量過(guò)程分為三個(gè)關(guān)鍵步驟:
1.光信號(hào)采集:鹵鎢燈與氘燈組合光源發(fā)射寬光譜光束,經(jīng)手持探頭聚焦于樣品表面,形成直徑100μm的光斑。光線在薄膜上下表面反射后產(chǎn)生干涉條紋,同時(shí)部分光線穿透薄膜形成透射光譜。
2.信號(hào)解析:光電探測(cè)器同步捕獲干涉條紋與透射光譜數(shù)據(jù)。白光干涉模塊通過(guò)分析干涉條紋的相位差,計(jì)算薄膜的物理厚度;光譜反射模塊則根據(jù)材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù),對(duì)透射光譜進(jìn)行反演運(yùn)算,修正厚度測(cè)量值。
3.智能修正:設(shè)備搭載AutoCal自動(dòng)校準(zhǔn)算法,每20個(gè)測(cè)量日對(duì)500nm SiO?標(biāo)準(zhǔn)片進(jìn)行雙倍標(biāo)準(zhǔn)偏差校準(zhǔn),確保長(zhǎng)期穩(wěn)定性。機(jī)器視覺(jué)算法可自動(dòng)識(shí)別鏡片、車燈等典型曲面的測(cè)量區(qū)域,并提示最佳測(cè)量角度,新手操作員上手時(shí)間從2小時(shí)縮短至20分鐘。
