在半導(dǎo)體、光伏、顯示面板等制造及科研領(lǐng)域,薄膜厚度的精準(zhǔn)把控直接決定產(chǎn)品性能與研發(fā)成效。NS-20光學(xué)納米級測厚儀依托白光干涉技術(shù)與智能化設(shè)計,以亞納米級精度、非接觸測量優(yōu)勢,兼顧操作便捷性與場景適配性,成為薄膜檢測領(lǐng)域的裝備,平衡了高精度需求與實用效率。
1.
光學(xué)納米級測厚儀精度與寬域測量能力是NS-20的核心競爭力。儀器采用垂直入射寬波段白光干涉原理,結(jié)合先進(jìn)回歸算法,實現(xiàn)1nm至250μm的寬范圍測量,對玻璃基底樣品低可測至1nm,硅基底樣品達(dá)0.43nm,靜態(tài)穩(wěn)定性更是精準(zhǔn)到0.02nm。測量再現(xiàn)性優(yōu)于0.1nm,搭配200-790nm寬波長覆蓋,可同步解析薄膜厚度、折射率與反射率,甚至支持最大10層復(fù)合膜的分層厚度檢測,為復(fù)雜薄膜分析提供全面數(shù)據(jù)支撐。
2.非接觸設(shè)計與高穩(wěn)定性設(shè)計,大幅拓展了應(yīng)用邊界。相較于傳統(tǒng)接觸式測厚儀,NS-20無需接觸樣品表面,從根本上避免了探頭劃傷脆弱薄膜的風(fēng)險,適配軟質(zhì)、易受損及高精度涂層樣品檢測。其搭載的長壽命白色光源,使用壽命可達(dá)10000小時,維護(hù)周期延長至1年以上,配合抗干擾光學(xué)結(jié)構(gòu),即便面對樣品高度波動也能穩(wěn)定輸出數(shù)據(jù),滿足高頻次工業(yè)檢測與科研實驗需求。
3.光學(xué)納米級測厚儀智能化與便捷化設(shè)計,顯著提升檢測效率。儀器配備磁吸載物臺,支持自動水平校準(zhǔn),搭配定位夾具可快速固定不規(guī)則樣品,無需繁瑣手動調(diào)試。軟件系統(tǒng)可保存10組常用測量方案,切換樣品時直接調(diào)用,單次測量耗時不足2ms,搭配多點掃描功能與自動數(shù)據(jù)擬合,可快速生成平均值、標(biāo)準(zhǔn)差及三維形貌圖,無需額外電腦軟件分析,操作邏輯貼合國內(nèi)用戶習(xí)慣,降低學(xué)習(xí)成本。
4.從半導(dǎo)體晶圓氧化層檢測、光伏電池疊層膜測量,到光學(xué)鍍膜均勻性分析、OLED薄膜研發(fā),NS-20以桌面式緊湊機身適配多元場景,更可定制便攜箱實現(xiàn)移動檢測。其融合高精度、高穩(wěn)定性與智能化優(yōu)勢,打破了測厚儀操作復(fù)雜、場景受限的壁壘,為工業(yè)生產(chǎn)質(zhì)控與前沿科研提供了高效、可靠的薄膜檢測解決方案。
