品牌	Acuitik	價格區(qū)間	20萬-50萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,航空航天

悉識膜厚儀NS-30（國產(chǎn)自研，自主可控）

NS-30系列是桌面式自動膜厚測量分析系統(tǒng)。在膜厚測量的基礎(chǔ)上迭加自動測樣載臺，能夠?qū)υO(shè)置好的點(diǎn)位進(jìn)行自動測量，并進(jìn)一步生成2D和3D的資料分布圖，適用于晶圓膜厚測量。

一、核心原理

垂直入射的高穩(wěn)定寬波段光入射到樣品表面，在各膜層之間產(chǎn)生光學(xué)干涉現(xiàn)象，反射光經(jīng)過光譜分析以及回歸算法可計算出薄膜各層的厚度。適合測量納米級至微米級的透明或半透明膜層的厚度、反射率、折射率等參數(shù)。

二、特色

1、測量范圍：可測量1納米到250微米的薄膜厚度、折射率、反射率。

2、非接觸測量：可測量硬質(zhì)材料、軟質(zhì)材料或表面易受損的樣品。

3、高精度，高穩(wěn)定性：亞納米級厚度測量精度，靜態(tài)穩(wěn)定性可達(dá)0.02納米。

4、多層膜測量能力：可以測量多層復(fù)合薄膜各層的厚度。

5、智能化算法：核心IP算法，一鍵式測量大跨度膜厚，極大簡化測量流程。

6、特色軟件功能：自研PolarX分析軟件，包含配方預(yù)測驗(yàn)證、特殊材料捏合等功能。

三、核心功能

四、實(shí)測結(jié)果展示
薄膜膜厚測厚儀實(shí)測結(jié)果展示

五、特別說明

1、樣品自動測量，平臺尺寸100mm~450mm可選

2、軟件根據(jù)需求自動生成測量點(diǎn)位分布

3、2D和3D測繪效果，包含厚度/折射率/反射率等信息

4、可測量薄膜應(yīng)力和表面彎曲（Stress/Bow)

六、悉識膜厚儀NS-30系列參數(shù)規(guī)格

參數(shù)規(guī)格

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