NS-Micro系列是顯微鏡集成式膜厚測量分析系統(tǒng)。NS-Micro系列 (顯微鏡集成式膜厚儀)在標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡基礎(chǔ)上疊加光譜測量模塊，能夠?qū)y量光斑精準(zhǔn)聚焦至1微米區(qū)域，并實(shí)時(shí)顯示測量點(diǎn)位彩色圖像。 NS-Micro系列 (顯微鏡集成式膜厚儀)適用于微小區(qū)域膜厚測量或?qū)嶒?yàn)室研發(fā)場景等。

NS-Micro 特色

·超強(qiáng)測量信號，讓微小區(qū)域膜厚測量不再困難

·高精度手動位移滑臺，精準(zhǔn)測量樣品微小區(qū)域

·集成彩色攝像機(jī)，實(shí)時(shí)監(jiān)控測量點(diǎn)位

·測量光斑可選范圍 1-100 μm

NS-Micro系列參數(shù)規(guī)格

NS-Micro系列 (顯微鏡集成式膜厚儀)

厚度測量范圍

型號	NS-MicroUV	NS-Micro	NS-MicroUVX	NS-MicroEXR
波長范圍	190 – 1000 nm	380 – 1100 nm	190 – 1700 nm	380 – 1700 nm
5X物鏡測量范圍1	-	15 nm – 75 μm	-	-
10X物鏡測量范圍		15 nm – 16 μm
15X物鏡測量范圍	1 nm – 30 um	15 nm – 100 um	1 nm – 100 um	15 nm – 100 um
20X物鏡測量范圍1	-	15 nm – 6 μm	-	-
50X物鏡測量范圍1	-	15 nm – 2 μm	-	-
100X物鏡測量范圍1	-	15 nm – 1 μm	-	-
準(zhǔn)確度2	1 nm 或 0.2%	2 nm 或 0.2%	1 nm 或 0.2%	2 nm 或 0.2%
精度3	0.02 nm
穩(wěn)定性4	0.05 nm
測量速度	< 1s（單次靜態(tài)測量）
光源	氘燈＋鹵鎢燈	鹵鎢燈	氘燈＋鹵鎢燈	鹵鎢燈
樣品尺寸	直徑從1mm 到 300mm或更大

接口要求
電源	110-240VAC, 50–60 Hz,20 W
數(shù)據(jù)接口	USB
電腦配置
操作系統(tǒng)	Windows 11
電腦硬件	主機(jī)，顯示器，鍵鼠

光斑尺寸	500μm 孔徑	250μm 孔徑	100μm 孔徑
5X物鏡	100 μm	50 μm	20 μm
10X物鏡	50 μm	25 μm	10 μm
15X物鏡	33 μm	17 μm	7 μm
50X物鏡	10 μm	5 μm	2 μm
100X物鏡	5 μm	2.5 μm	1 μm

取決于具體材料

2 Si/SiO2(500~1000nm)標(biāo)樣片

3 計(jì)算100次測量500nm SiO2標(biāo)準(zhǔn)片的1倍標(biāo)準(zhǔn)偏差，對20個(gè)有效測量日的1倍標(biāo)準(zhǔn)偏差取平均

4 計(jì)算100次測量500nm SiO2標(biāo)準(zhǔn)片的平均值，對20個(gè)有效測量日的平均值做2倍標(biāo)準(zhǔn)偏差

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